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HG-4010濕度發(fā)生器億科利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過(guò)控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過(guò)恒定溫度控制形成不同溫度下的相對(duì)或絕對(duì)濕氣。

濕度發(fā)生器利用高精度計(jì)量泵定量供給液體水，通過(guò)控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過(guò)恒定溫度控制形成不同溫度下的相對(duì)或絕對(duì)濕氣。

標(biāo)準(zhǔn)溫濕度發(fā)生器針對(duì)大溫度范圍（室溫-95℃）、大濕度范圍（0-95%RH）、快速響應(yīng)（10秒級(jí)）、穩(wěn)定輸出含濕氣體需求而專門開(kāi)發(fā)的一款溫濕度發(fā)生器。它采用雙溫雙壓來(lái)發(fā)生濕度，但是在飽和器、分流控制算法、濕度和熱補(bǔ)償?shù)确矫孢M(jìn)行了重要改進(jìn)。

小型濕度發(fā)生器通過(guò)改變比例閥通徑改變高壓或低壓壓力而得到不同濕度的恒濕氣源。根據(jù)道爾頓分壓定律，先使氣體在穩(wěn)定的高壓狀態(tài)下飽和，然后在相同的溫度下降壓，至穩(wěn)定的低壓狀態(tài)，即可得到恒濕氣源，其濕度值可根據(jù)飽和室溫度高壓壓力和低壓壓力而準(zhǔn)確測(cè)定。

晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測(cè)量?jī)x表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

半導(dǎo)體測(cè)試專用濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。