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晶圓CVD專用濕度發(fā)生器是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測(cè)量?jī)x表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

半導(dǎo)體測(cè)試專用濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器是一種用于在高溫高濕（85°C溫度和85%相對(duì)濕度）環(huán)境下進(jìn)行可靠性測(cè)試的專業(yè)設(shè)備，廣泛應(yīng)用于光伏組件、電子元器件、材料老化測(cè)試等領(lǐng)域?。

便攜式濕度發(fā)生器計(jì)量校準(zhǔn)用是一款兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測(cè)量?jī)x表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

標(biāo)準(zhǔn)溫濕度發(fā)生器觸摸屏控制針對(duì)大溫度范圍（室溫-95℃）、大濕度范圍（0-95%RH）、快速響應(yīng)（10秒級(jí)）、穩(wěn)定輸出含濕氣體需求而專門開發(fā)的一款溫濕度發(fā)生器。它采用雙溫雙壓來發(fā)生濕度，但是在飽和器、分流控制算法、濕度和熱補(bǔ)償?shù)确矫孢M(jìn)行了重要改進(jìn)。

常規(guī)溫度濕度試驗(yàn)設(shè)備高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。